Вакуум: минимальный относительный | 10 -3 Па |
Давление: рабочий диапазон | 1.0 МПа |
Давление: макс. рабочее | 1,0 МПа |
Натекание: внешнее Pa*m3/sec | 10 -6 Pa*m3/sec |
Натекание: внутреннее Pa*m3/sec | 10 -6 Pa*m3/sec |
Исполнение | oil-free |
Среда | Воздух, инертные газы |
Температура | 0 - +50 C' |